液压机管路与油箱较清洁时，可使用与工作油黏度相近的清洗油；系统较脏时，可选稍低黏度的油。热油有助于污物脱落，通常加热至 50-60 ℃。清洗压力为 0.2-0.4 Mpa 时，应尽量提高清洗油流量，便于去除污垢。
清洗回路通常安装 50-100 μ 的粗滤器，并在回油入口配置 10-50 μ 过滤器。冲洗一段时间后，由粗滤逐步换为细滤及梯度过滤。清洗时间为八小时至一天，每半小时清理液压油过滤器，逐步更换、清洗细网滤芯。优质低黏度油可延长清洗间隔；严重污染系统需反复清洗，使用黏度相近的清洗油。
液压系统清洗完成后，应排尽清洗油并立即加入新的工作液压油，短时间试运行，以防管路腐蚀及其他不良影响。尽量清除泵、阀、管路和冷却器内积存的清洗油，可松开管路用压缩空气吹净，或加入工作油进行置换。